半導体事業部

香我美工場
メンテナンス基地No.1を目指して

「香我美工場」は、当社の半導体事業部の拠点として、各種真空装置メンテナンスの基地として、存在価値を増しております。

油回転真空ポンプから始まり、排ガス処理装置再生、ドライ型真空ポンプメンテと順次業容を拡張し、全国の多様な半導体メーカーの真空機器メンテナンスの基地として設備・技術・信頼で、お客様に応えて参ります。

真空ポンプ/メンテナンス

半導体製造技術の革新的な進歩に伴い、真空ポンプも多種・多様に進化を遂げております。
当社は油回転型ポンプからドライ真空型ポンプまで、又国内メーカーはもとより海外メーカー製に至る幅広いニーズに対応し、徹底した社員教育の中からマニュアルの作成完備と、徹底管理したシステムからメンテナンスを実施しており、短納期・高品質・定格の実現で、お客様からの信頼を得ております。

排ガス処理装置再生
メンテナンス

半導体材料ガスの多様化に伴い、廃棄ガス処理の技術は年々変化を来しており、多くの半導体工場にとって重要な課題であります。
当社は独自の技術力を駆使し、顧客の使用済み排ガス処理カートリッジを回収し、内部の薬剤を詰め替え再生しております。
関係諸機関のご指導のもと、装置の長寿命化も達成させてコスト低減に寄与し、お客様のご要望に応じたカラム製作と、ガスメニューに準じた薬剤調合を行い、検知剤も好みの色に製造して要望に応えております。

除害容器及び
付随する配管の製作

ユーザーニーズに沿ったフレキシブルな対応により除害容器及び配管(フランジ加工)等の設計・製作を行っています。

半導体製造ラインで使用される、各種周辺機器類について企画・設計・製作、綿密な打ち合わせと豊富なアイデアをもとに短納期・低コスト化を図り、ユーザー各位より好評を得ております。又、最近こうした実績を生かし、研究期間・学校・ベンチャー企業などに幅を広げ、意欲的な取り組みも行っておりますので、ご用命くださいますようお願い申し上げます。

香我美工場

〒781-5454
香南市香我美町口西川1389-1
Tel:0887-55-9321
Fax:0887-55-9062